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CVD系统

  • KTL-CVD-1700单温区CVD系统
KTL-CVD-1700单温区CVD系统

KTL-CVD-1700单温区CVD系统

  • 型号:KTL-CVD-1700
  • 加工定制:是
  • 最大电压:220(V)
  • 产品描述:CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统 ,最高温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度,加热区间可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。
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CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统 ,最高温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度,加热区间可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。 

这款CVD系统是由4路供气系统KTL1600管式炉+真空系统组成。


 

(1)、硅钼棒的热端粗度D1为7mm、一般厂家采用的6MM、加热端粗、不容易弯曲、棒子的表面负荷低,使用寿命长。

2)、采用的是热弯技术,电阻均匀,使用寿命长

(3)、Lu冷端长度为210mm, 400X300X300炉子为260 ,一般厂家采用180mm, 冷端长炉顶温度低。

(4)、硅钼棒表面氧化非晶膜致密,能够比较好的保护硅钼棒。 
 

当电路过流或漏电时,空开会自动断开

 

 该气氛管式炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出


 


(1)、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。
(2)、采用日本技术成型。
(3)、炉膛材料热容低、热传导系数低,从而散热少、保温好、反射率高。温场均衡。
(4)、炉膛氧化铝丝细而长、耐温高、抗热涨冷缩能力强
(5)、炉膛表面光洁、不易掉粉。

 

(全部通过UL认证的进口电器)

 

 

 

采用宇电程序控温仪表(标配)

1、30段程序控温智能PID调节。

2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,,(当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时,主电路上的交流继电器会自动断开,主电路断开,面板上ON灯熄灭,OFF灯亮,有限的保护电炉)。

3、带有485 通讯接口(选购软件时标配)

4、具有断电保护功能,即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。

5、仪表具有温度自整定的功能

 






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