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CVD系统

  • KTL-CVD-1700-1400双温区CVD系统
KTL-CVD-1700-1400双温区CVD系统

KTL-CVD-1700-1400双温区CVD系统

  • 型号: KTL-CVD-1700-1400
  • 产品描述:CVD系统由供气系统+双温区管式炉+抽气系统组成 ,最高温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度,加热区间可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。
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CVD系统由供气系统+双温区管式炉+抽气系统组成 ,最高温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度,加热区间可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。

这款CVD系统是由8路供气系统+TL1700-1400双温区管式炉+真空系统组成

KTL1700-1400 双温区管式炉:以1800型硅钼棒和硅碳棒为加热元件,有两个加热区,采用双层壳体结构和宇电控温仪表,每个加热区能进行30段程序控温,移相触发、可控硅控制,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,炉管两端装有不锈钢法兰,不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表,抽真空时真空度能够达到10-3 Pa,该炉为卧式,两个温区可以独立控制、设置不同的温度,使用方便,操作简单,该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点,是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品。

 

 

 

(1)、硅钼棒的热端粗度D1为7mm、一般厂家采用的6MM、加热端粗、不容易弯曲、棒子的表面负荷低,使用寿命长。

2)、采用的是热弯技术,电阻均匀,使用寿命长

(3)、Lu冷端长度为210mm, 400X300X300炉子为260 ,一般厂家采用180mm, 冷端长炉顶温度低。

(4)、硅钼棒表面氧化非晶膜致密,能够比较好的保护硅钼棒。  

 

当电路过流或漏电时,空开会自动断开

该气氛管式炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出


 


(1)、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。

(2)、采用日本技术成型。

(3)、炉膛材料热容低、热传导系数低,从而散热少、保温好、反射率高。温场均衡。

(4)、炉膛氧化铝丝细而长、耐温高、抗热涨冷缩能力强  

(5)、炉膛表面光洁、不易掉粉。

(全部通过UL认证的进口电器)

1、移相触发(带软启动和限流功能)

2、限流功能:无论怎么样设置升温速率,我们电炉的二次电流始终被限制在170A以内,有效的保护了设备。由于采用限流功能,高温下可开炉门。如果您使用的电炉需要在升温过程中对炉子的升温速率进行限制(例如:规定在1400℃后不

得超过3℃/min等)即采用非限流触发器。升温速率设置错误或者升温速率过快、这时电流会非常大,设备会跳闸或烧坏。

3、软启动功能:开机时电流会慢慢增大,对加热元件的冲击较小,有利于加热元件寿命的延长

4、保护功能:如果电流超过限制电流、触发器会自动切断触发功能以切断电流保护电炉。


1、变压器电缆为纯铜

2、变压器声音小

3、变压器温身低


 



 



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