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如何选择CVD管式炉系统?


CVD系统的选择较为复杂,有不同的实验要求就会有不同的设备与其搭配。这篇文章主要是讲述CVD管式炉系统选购中可能会用到的一些信息仅供您参考。
CVD系统理论上即:两种或者两种以上的气态原材料导入到一个反应室内,然后它们之间相互产生化学反应,形成一种新的材料,然后沉积到基底表面上。CVD系统主要由多路供气系统或液态蒸发器+各种型号管式炉+各种型号的抽气系统组成。
CVD设备的灵活度很高,客户可以根据自己试验要求选择合适的产品来组合,或者直接选择套装。
建议:如果您想分开购买CVD设备的时候最好跟莱步客户的技术员沟通下,看下是否需要一些必要的配件,避免分体购买CVD中的设备造成配件不全不能立即实验,影响你们的实验进度。
一、管式炉的选择(一般CVD系统中都是管式炉)
您需要提供CVD实验需要的温度以及实验步骤。如何选择管式炉,可以与南京莱步科技选择,我们有不同温度的管式炉。
二、供气系统的选择
供气系统又称为混气系统装置,它可以实现2种或者2种以上的气体或者蒸汽按照一定的比例来混合,然后通入到高温管式炉中。
南京莱步科技根据流量计的不同可以分为2类。
1、气体流量计
1)浮子流量计:气体是通过普通的浮子流量计粗略的估计进气量。
2)质量流量计:气体通过质子流量计精确控制进气量。
2、气液混合流量计:主要是用于液体高温气化后导入CVD系统的设备
三、真空系统的选择
真空系统为CVD实验提供实验的真空环境,将管式炉中的空气抽走,达到真空的环境。客户可以根据自己实验所需真空度大小以及实验所需清洁程度来选择合适的真空装置。


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